TECHNOLOGICAL EQUIPMENT FOR OBTAINING METAL COATINGS BY DECOMPOSING METALORGANIC COMPOUNDS WITH CVD METHOD

The paper presents proposals to apply a method of chemical gas-phase deposition of metals (CVD-method) in agricultural engineering for obtaining wear-proof and corrosion-resistant coatings. The authors provide basic information containing is a detailed description of the equipment, new methods of applying coatings and technological modes, as well as give overview information on the method of chemical gas-phase deposition. The paper describes new technological equipment for the implementation of chemical gas-phase metal deposition by decomposition of metalorganic compounds (MOC) in a liquid or a solid phase. Two main methods of the MOC input into the reaction chamber (for liquid and solid MOC) are considered. The authors present a block diagram and photographs of the installation allowing to get a complete picture of the process and show a commercially available installation for applying PVD coatings that is modified and adapted to chemical gas-phase deposition processes. They also offer the most promising areas for using the CVD-method of MOC decomposing in industrial production and present a list of the most promising areas of utilizing MOC in industrial production indicating the technological modes of their decomposition.

CVD-метод, химическое газофазное осаждение, металлизация, хромовые покрытия, никелевые покрытия, железные покрытия, металлоорганические соединения, микротвердость покрытий, CVD-method, chemical gas-phase deposition, metallization, chromium coatings, nickel coatings, iron coatings, organometallic compounds, microhardness of coatings

1. Стратегия технологической модернизации сельского хозяйства России на период до 2020 года / В.И. Фисинин и др.; Российская акад. с.-х. наук, М-во сельского хоз-ва Российской Федерации, М-во пром-сти и торговли Российской Федерации. М.: Росинформагротех, 2009. 78 с.

2. Hugh O. Pierson. Handbook of Chemical Vapor Deposition, 1999.

3. Сыркин В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985. 248 с.

4. Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972. 479 с.

5. Козырев В.В. Металлоорганические соединения в машиностроении и ремонтном производстве: Монография. Тверь: Издательство «Студия-С», 2003. 160 с.

6. Грибов Б.Г., Домрачев Г.А., Жук Б.В. и др. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука, 1982. 322 с.

7. Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Применение карбонильного хрома для получения упрочняющих покрытий на деталях сельскохозяйственной техники // Материалы Междунар. науч.-практ. конференции «Современные проблемы освоения новой техники, технологий, организации технического сервиса в АПК». Минск: БГАТУ, 2014. Ч. 1. С. 275-278.

8. Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическая парофазная металлизация. М.: Наука, 2000. 496 с.

9. Ерохин М.Н., Плетнев Л.В., Чупятов Н.Н. Разработка методики управления процессом формирования CVD-покрытия на внешней поверхности цилиндрической подложки // Вестник ФГОУ ВПО «МГАУ имени В.П. Горячкина». 2016. № 5 (75). С. 25-30.

10. Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Cпособы модифицирования поверхностей трения деталей машин: Монография. М.: ФГБОУ ВПО МГАУ, 2014. 140 с.