Для цитирования:
Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОСНАЩЕНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ CVD-МЕТОДОМ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ. Агроинженерия. 2018;(6):40-44. https://doi.org/10.26897/1728-7936-2018-6-40-44
For citation:
Yerokhin M.N., Kazantsev S.P., Chupyatov N.N. TECHNOLOGICAL EQUIPMENT FOR OBTAINING METAL COATINGS BY DECOMPOSING METALORGANIC COMPOUNDS WITH CVD METHOD. Agricultural Engineering (Moscow). 2018;(6):40-44. (In Russ.) https://doi.org/10.26897/1728-7936-2018-6-40-44