agroengineeringАгроинженерияAgricultural Engineering (Moscow)2687-11492687-1130РГАУ-МСХА10.26897/1728-7936-2018-6-40-44agroengineering-266Research ArticleТЕХНИЧЕСКИЙ СЕРВИС В АПКTECHNICAL SERVICE IN AGRICULTUREТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОСНАЩЕНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ CVD-МЕТОДОМ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙTECHNOLOGICAL EQUIPMENT FOR OBTAINING METAL COATINGS BY DECOMPOSING METALORGANIC COMPOUNDS WITH CVD METHODЕрохинМИХАИЛ НИКИТЬЕВИЧYerokhinMIKHAIL N.Er.mihn@mail.ruКазанцевСЕРГЕЙ ПАВЛОВИЧKazantsevSERGEY P.kspts@bk.ruЧупятовНИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧChupyatovNIKOLAY N.nikolaj-ch@mail.ruРоссийский государственный аграрный университет - МСХА имени К.А. ТимирязеваРоссияRussian State Agrarian University - Moscow Timiryazev Agricultural AcademyRussian Federation201829122018064044Copyright © Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н., 20182018Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н.Yerokhin M.N., Kazantsev S.P., Chupyatov N.N.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://agroengineering.timacad.ru/jour/article/view/266

Представлены предложения по использованию в сельскохозяйственном машиностроении для нанесения износостойких и коррозионно-стойких покрытий метода химического газофазного осаждения металлов (CVD-метода). Изложено подробное описание оборудования, новых способов нанесения покрытий и технологических режимов, а также обзорная информация по методу химического газофазного осаждения. Дано описание новых средств технологического оснащения для реализации процесса химического газофазного осаждения металла разложением металлоорганических соединений (МОС), находящихся в жидкой или твердой фазе. Рассмотрены два основных способа подачи МОС в реакционную камеру (для жидкого и твердого МОС). Представлена структурная схема и фотографии установки, позволяющие получить полное представление о процессе. Показана серийно выпускаемая установка для нанесения PVD-покрытий, доработанная и адаптированная к процессам химического газофазного осаждения. Предложены наиболее перспективные направления использования CVD-метода МОС в промышленном производстве. Представлен перечень наиболее перспективных для использования в промышленном производстве МОС с указанием технологических режимов их разложения.

The paper presents proposals to apply a method of chemical gas-phase deposition of metals (CVD-method) in agricultural engineering for obtaining wear-proof and corrosion-resistant coatings. The authors provide basic information containing is a detailed description of the equipment, new methods of applying coatings and technological modes, as well as give overview information on the method of chemical gas-phase deposition. The paper describes new technological equipment for the implementation of chemical gas-phase metal deposition by decomposition of metalorganic compounds (MOC) in a liquid or a solid phase. Two main methods of the MOC input into the reaction chamber (for liquid and solid MOC) are considered. The authors present a block diagram and photographs of the installation allowing to get a complete picture of the process and show a commercially available installation for applying PVD coatings that is modified and adapted to chemical gas-phase deposition processes. They also offer the most promising areas for using the CVD-method of MOC decomposing in industrial production and present a list of the most promising areas of utilizing MOC in industrial production indicating the technological modes of their decomposition.

CVD-методхимическое газофазное осаждениеметаллизацияхромовые покрытияникелевые покрытияжелезные покрытияметаллоорганические соединениямикротвердость покрытийCVD-methodchemical gas-phase depositionmetallizationchromium coatingsnickel coatingsiron coatingsorganometallic compoundsmicrohardness of coatingsReferencesСтратегия технологической модернизации сельского хозяйства России на период до 2020 года / В.И. Фисинин и др.; Российская акад. с.-х. наук, М-во сельского хоз-ва Российской Федерации, М-во пром-сти и торговли Российской Федерации. М.: Росинформагротех, 2009. 78 с.Стратегия технологической модернизации сельского хозяйства России на период до 2020 года / В.И. Фисинин и др.; Российская акад. с.-х. наук, М-во сельского хоз-ва Российской Федерации, М-во пром-сти и торговли Российской Федерации. М.: Росинформагротех, 2009. 78 с.Hugh O. Pierson. Handbook of Chemical Vapor Deposition, 1999.Hugh O. Pierson. Handbook of Chemical Vapor Deposition, 1999.Сыркин В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985. 248 с.Сыркин В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985. 248 с.Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972. 479 с.Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972. 479 с.Козырев В.В. Металлоорганические соединения в машиностроении и ремонтном производстве: Монография. Тверь: Издательство «Студия-С», 2003. 160 с.Козырев В.В. Металлоорганические соединения в машиностроении и ремонтном производстве: Монография. Тверь: Издательство «Студия-С», 2003. 160 с.Грибов Б.Г., Домрачев Г.А., Жук Б.В. и др. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука, 1982. 322 с.Грибов Б.Г., Домрачев Г.А., Жук Б.В. и др. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука, 1982. 322 с.Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Применение карбонильного хрома для получения упрочняющих покрытий на деталях сельскохозяйственной техники // Материалы Междунар. науч.-практ. конференции «Современные проблемы освоения новой техники, технологий, организации технического сервиса в АПК». Минск: БГАТУ, 2014. Ч. 1. С. 275-278.Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Применение карбонильного хрома для получения упрочняющих покрытий на деталях сельскохозяйственной техники // Материалы Междунар. науч.-практ. конференции «Современные проблемы освоения новой техники, технологий, организации технического сервиса в АПК». Минск: БГАТУ, 2014. Ч. 1. С. 275-278.Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическая парофазная металлизация. М.: Наука, 2000. 496 с.Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическая парофазная металлизация. М.: Наука, 2000. 496 с.Ерохин М.Н., Плетнев Л.В., Чупятов Н.Н. Разработка методики управления процессом формирования CVD-покрытия на внешней поверхности цилиндрической подложки // Вестник ФГОУ ВПО «МГАУ имени В.П. Горячкина». 2016. № 5 (75). С. 25-30.Ерохин М.Н., Плетнев Л.В., Чупятов Н.Н. Разработка методики управления процессом формирования CVD-покрытия на внешней поверхности цилиндрической подложки // Вестник ФГОУ ВПО «МГАУ имени В.П. Горячкина». 2016. № 5 (75). С. 25-30.Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Cпособы модифицирования поверхностей трения деталей машин: Монография. М.: ФГБОУ ВПО МГАУ, 2014. 140 с.Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Cпособы модифицирования поверхностей трения деталей машин: Монография. М.: ФГБОУ ВПО МГАУ, 2014. 140 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.