ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОСНАЩЕНИЕ ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ CVD-МЕТОДОМ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ

Представлены предложения по использованию в сельскохозяйственном машиностроении для нанесения износостойких и коррозионно-стойких покрытий метода химического газофазного осаждения металлов (CVD-метода). Изложено подробное описание оборудования, новых способов нанесения покрытий и технологических режимов, а также обзорная информация по методу химического газофазного осаждения. Дано описание новых средств технологического оснащения для реализации процесса химического газофазного осаждения металла разложением металлоорганических соединений (МОС), находящихся в жидкой или твердой фазе. Рассмотрены два основных способа подачи МОС в реакционную камеру (для жидкого и твердого МОС). Представлена структурная схема и фотографии установки, позволяющие получить полное представление о процессе. Показана серийно выпускаемая установка для нанесения PVD-покрытий, доработанная и адаптированная к процессам химического газофазного осаждения. Предложены наиболее перспективные направления использования CVD-метода МОС в промышленном производстве. Представлен перечень наиболее перспективных для использования в промышленном производстве МОС с указанием технологических режимов их разложения.

CVD-метод, химическое газофазное осаждение, металлизация, хромовые покрытия, никелевые покрытия, железные покрытия, металлоорганические соединения, микротвердость покрытий, CVD-method, chemical gas-phase deposition, metallization, chromium coatings, nickel coatings, iron coatings, organometallic compounds, microhardness of coatings

1. Стратегия технологической модернизации сельского хозяйства России на период до 2020 года / В.И. Фисинин и др.; Российская акад. с.-х. наук, М-во сельского хоз-ва Российской Федерации, М-во пром-сти и торговли Российской Федерации. М.: Росинформагротех, 2009. 78 с.

2. Hugh O. Pierson. Handbook of Chemical Vapor Deposition, 1999.

3. Сыркин В.Г. Газофазная металлизация через карбонилы. М.: Металлургия, 1985. 248 с.

4. Разуваев Г.А., Грибов Б.Г., Домрачев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике. М.: Наука, 1972. 479 с.

5. Козырев В.В. Металлоорганические соединения в машиностроении и ремонтном производстве: Монография. Тверь: Издательство «Студия-С», 2003. 160 с.

6. Грибов Б.Г., Домрачев Г.А., Жук Б.В. и др. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука, 1982. 322 с.

7. Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Применение карбонильного хрома для получения упрочняющих покрытий на деталях сельскохозяйственной техники // Материалы Междунар. науч.-практ. конференции «Современные проблемы освоения новой техники, технологий, организации технического сервиса в АПК». Минск: БГАТУ, 2014. Ч. 1. С. 275-278.

8. Сыркин В.Г. CVD-метод. Химическая парофазная металлизация. М.: Наука, 2000. 496 с.

9. Ерохин М.Н., Плетнев Л.В., Чупятов Н.Н. Разработка методики управления процессом формирования CVD-покрытия на внешней поверхности цилиндрической подложки // Вестник ФГОУ ВПО «МГАУ имени В.П. Горячкина». 2016. № 5 (75). С. 25-30.

10. Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Чупятов Н.Н. Cпособы модифицирования поверхностей трения деталей машин: Монография. М.: ФГБОУ ВПО МГАУ, 2014. 140 с.